明基材的PVA清洗刷輪半導體微縮到三奈米以下,晶圓表面的高低落差容忍度趨近於零。隨著電晶體架構從FinFET轉向GAA(二奈米),以及導入背面供電網路(BSPDN,A16),金屬佈線層數大幅增加。....閱讀更多
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