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台積電跨進埃米時代
台積電跨進埃米時代
2026/9/30
洪崇晏
台積電從 N2、 A16一路推進 A14,真正受惠的不只晶圓代工本身,而是一整條半導體設備與耗材供應鏈。製程進入埃米世代後, GAA奈米片、背面供電、 EUV與更複雜的多層結構,使蝕刻、薄膜、清洗、 CMP與檢測步驟增加,對材料純度、零組件精度與製程良率的要求也同步拉高。
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