漢微科在電子束檢測設備領域屬寡占市場,在掌握關鍵技術和專利上,具有相對優勢,近兩年來營運已轉虧為盈,毛利率亦逐季攀升。漢微科(興櫃3658)為電子束(E-Beam)檢測設備製造商,專注在跳躍式掃描系統、連續式掃描系統以及電子束製程監控系統設備技術,產品應用於半導體前段製程檢測,並將缺陷密度及分布回饋給使用者,進行製程監控以及製程最佳化。去(二○一一)年於電子束檢測設備市場的市占率高達八四.六%,其餘則由競爭對手科磊、應材及日立分食,客戶均是國際DRAM、Flash及Logic大廠,包含台積電(2330)、聯電(2303)、Samsung、Hynix及Toshiba等,未來更有機會切入Intel供應鏈。若以銷貨地區別來看,台灣、日本及韓國比重最高,而美國則是去年成長最多的國家。相較於傳統的光學檢測技術,雖電子束檢測的掃描速度較慢,但因晶圓廠多知道可能發生缺陷的地方,所以可只針對該部分利用跳躍式掃描來檢測,以提高效率。跳躍式檢測專利技術優於競爭者漢微科主要競爭優勢為掌握關鍵技術及專利,其中又以電子槍、電子鏡頭及影像處理方面優於主要競爭者科磊;提供客製化服務,幫助客戶生產效益最大化;跳躍式檢測專利技術的檢測效率較競爭者快,另開發出多槍電子檢測設備且已通過美國專利,將搭配晶圓廠二十奈米量產時推出,其檢測速度較目前單槍快十倍。過去因為傳統光學檢測即足以支應晶圓量產的缺陷檢測需求,漢微科的電子束檢測設備僅提供給晶圓廠研發端使用,但是隨著製程不斷由六十五奈米、四十奈米向下縮微,在二十奈米甚至十五奈米世代,晶圓只要稍有缺陷,就會造成良率下降,因而凸顯晶圓製程前段的缺陷檢測的重要性,但是因光學檢測有解析度的限制,讓電子束檢測成為製程縮微過程中的重要檢測解決方案。根據顧能(Gartner)預估,未來四年全球四十五奈米以下製程產能每年將以二○~三七%的漲幅高速成長,依過去客戶使用經驗,約每五千片產能,需搭配一台電子束檢測設備,漢微科的產品需求勢必將隨之提升。以目前晶圓廠製程世代而言,全球檢測設備業若出貨十台晶圓檢測設備,其中可能只有一台是電子束檢測設備,其餘則是光學檢測;但目前因為技術瓶頸,光學檢測尚未能突破解析度限制,在高階製程難以與電子束檢測競爭,隨著晶圓廠強化二十八奈米以下製程布局,電子束檢測占晶圓檢測設備總出貨比重將持續攀升,未來十台晶圓檢測設備中,可能就會有三台是電子束機台。矩陣式設備已取得美國專利漢微科在電子束檢測設備的開發策略上,針對下一個晶圓製程世代領先開發,確保在新製程量產開始之前,已可供應半導體廠相應的檢測設備。產品單價方面,因產品均為客製化,單價差距較大,每台約四百~五百萬美元,去年出貨二十幾台,目前最大年產能可達七十台,仍足以因應未來的龐大需求。而為符合客戶大面積檢測需求,漢微科也進行矩陣式設備的研發,效率大幅提升,目前已經取得美國的專利,預計最快二○一四年即可量產。營運表現方面,在歷經七年虧損之後,二○一○年終於開始獲利,稅後EPS五.六九元,去年合併營收二十六.七八億元,年增七三.三%,稅後EPS倍增至一○.七八元,營收與獲利同步創下新高紀錄。今年第一季合併營收九.一四億元、稅後純益二.七四億元,EPS四.五七元,預估第二季營運將可與第一季持平,下半年更將有機會優於上半年,全年EPS上看二十元。另觀察毛利率變化, 二○○八年至今年第一季分別為三九%、五五%、六二%、六八%、七○%,毛利率走高趨勢也相當驚人。在操作建議上,由於漢微科目前於興櫃的股價在三百元附近,並將於五月二十一日以二百元掛牌上櫃,若有參與抽籤或是在興櫃市場即買進的投資人,除可先賺一百元價差外,又有機會賺取未來股價上漲的獲利空間。