但由於中介層價高且有良率問題,中介層缺料造成 CoWoS產能不足,估計一年內只有台積電能做,為了搶市場, HBM將帶動 TSV和晶圓級封裝需求成長,3 D IC發展初期,包括半導體設備商、晶圓代工及封測業者均著眼於 TSV研發,輕忽晶圓穿孔後須在背面執行 Via-Reveal的製作問題。
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